패터닝시뮬레이션
패터닝시뮬레이션
解放军의패터닝시뮬레이션시스템은중대한기능설계,제조가능성그리고제안된平과패터닝기술의공정으로제한된수율을탐구하기위해첨단모델을사용합니다。연구원들은실험재료와시제품공정설비를사용한수백장의테스트웨이퍼인쇄에필요한시간과비용을할애할필요없이解放军의패터닝시뮬레이션소프트웨어를통해EUV光刻과다수의패터닝기법등의첨단패터닝기술을평가할수있습니다。
PROLITH™
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현실적인가상패터닝
PROLITH™平및패터닝시뮬레이션솔루션은혁신적인모델을사용해서웨이퍼에인쇄하게될설계를정확하게시뮬레이션합니다。PROLITH는EUV光刻과다수의패터닝기법을포함하는패터닝기술을비용효율적으로평가하기위해IC, LED및MEMS제조업체,스캐너회사,트랙회사(마스크제조업체,소재제공업체및연구컨소시엄에서사용됩니다。모든패터닝공정에필수적으로중요한모델링툴로써,平엔지니어들은PROLITH를활용하여다수의平변수가패턴인쇄에미치는영향을이해함과동시에실현가능한솔루션을파악하는데필요한시간을상당히줄일수있습니다。
사용자용사이트 기술지원애플리케이션
첨단패터닝시뮬레이션,웨이퍼형상모델링관련제품
PROLITH 2020 b:결정론적그리고확률론적결과물이가능한윈도우운영체제기반물리적사진식각시뮬레이터。PROLITH 2020 b는정량적으로정확한결과물을위하여마스크지형,웨이퍼지형,감광재모델링,SEM계측을엄격하게처리합니다。
PROLITH企业2020 b:핵심적인PROLITH 2020 b의모든기능을제공하고,추가적으로대규모시뮬레이션작업(예:EUV사진식각의”검정백조(黑天鹅)”현상이나수천회의마스크조각이미지실행을요구하는과제에대한확률론적시뮬레이션)에적합한확장가능한리눅스엔진을제공。음화사진현상(负面基调发展,被忽视的热带病)화학증폭감광재의거동을정확하게설명하는향상된용해(增强解散)모델을선택할수있습니다。