컴파운드세미|MEMS |HDD제조

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kla는전력소자,rf커뮤니케이션,LED,포토닉스,MEMS,CPV Solar및디스플레이제조제조위한위한,측정과데이터분석을지원하는종합포트폴리오를하고하고하고하고하고하고고조도led는고체조명및자동차애플리케애플리케보편화되고있으며애플리케제조업체들은은되고있으며소자제조업체들은성능개선을하기에에된제어제어수율이더욱더욱되고있습니다및수율강조되고있습니다있습니다및수율되고되고있습니다。유사하게선도전력소자은개발및램프시간가속화,제품수율인상및저을으로하여수율제한하는및공정을화하기하기을구현하고하기하기을구현하고있습니다。kla의의사,계측및데이터분석시스템은제조업체제조업체제조업체제조업체을을제어수율개선수수지원합니다。

카테고리

8시리즈

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8시리즈

고생산성패턴웨이퍼광역광역사시스템

8시리즈패턴웨이퍼퍼사시스템시스템은생산공정문제를파악하고해결할수있도록높은생산량수준에서다양한을검출검출다양을을검출8시리즈는효율적인으로으로제품개발단계부터까지150mm,200mm,또는300mm실리콘실리콘기판웨웨의결함검검와웨하며많은의의와웨웨을가능토록하여하여하여하여공정사고위험을을을시킵니다。최신8930웨이퍼결함결함결함사시스템시스템은다중led스캐닝역량,flexpoint™정밀면적면적사해당기술을통해낮은로중대한영향을미치는에대한고생산성이가능하며저비용첨단레거시inc fab모두신뢰성있는생산가속속속하도록지원지원제품을속속화지원지원제품생산을속화하도록지원

애플리케이션.
공정공정,툴툴,출고출고관리(OQC)
관련제품

circl.:8시리즈시리즈사기술기술정면,후면및엣지의표면표면이퍼측정측정을위해설계된된결함사,,계측및리뷰클러스터에서모듈로제공됩니다。

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WI-2280

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WI-2280

다층기판결함결함사및및계측

wi-2280자동화자동화광학사및계측시스템다양한한이퍼기판기판에서이크로전자소자마마하고사하며led,vcsel과기타집적회로이션을을위한이퍼수준및및이싱다후관리를지원지원지원지원지원지원지원지원지원를지원지원지원지원를지원지원지원지원를지원지원지원지원를지원지원지원를지원지원지원지원지원지원지원를를지원지원지원를를지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원를지원지원지원지원를지원지원지원지원를를지원지원지원를를지원지원지원를를를지원지원지원지원지원지원지원지원지원지원를지원지원지원지원지원를를지원지원를를를를지원지원FFC또는후프링상의상의이싱된웨이퍼와2에서8인치의전체이퍼가능가능합니다。검사및2d계측역량을갖춘을갖춘웨품질,웨이퍼다이싱,임계임계치수및,패드및및필러의의오버레오버레에및피드백을제공제공오버레이시스템은은신속한수율수율과개선된공정제어를위한리뷰및재분류재분류제공제공하는하는(ICOS리뷰및분류소프트웨어하는하는

애플리케이션.

공정공정,출고품질관리(OQC),툴툴

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Candela.®8xxx.

필립스포토닉스의vcsel배열이미지

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Candela.®8xxx.

컴파운드컴파운드반도체소재를를위한첨단표면사

Candela.®8720컴파운드반도체소재표면사시스템은전력소자,통신및rf소자와첨단led(향후microoled도도)생산에중대한영향을미칠있는결함대해고감도의의의관련의의소재소재,gaas기판과에피공정를가능하게합니다。고유의광학설계와검출을탑재한坎德拉8720은현재현재사방법으로일관되게파악하지못초미세결함을및분류하여을제약하는에대한생산모니터링을지원대한대한모니터링을합니다。

애플리케이션.
공정공정,툴툴,품질품질
관련제품

Candela.®8420.:컴파운드컴파운드반도체소재를위한위한사。

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Candela.®CS920

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Candela.®CS920

광발광광발광계측및표면표면결함검출을위한솔루션

전력소자제조업체를위한坎德拉®CS920 SIC기판및에피택시(EPI)웨이퍼표면결함결함사시스템시스템은전체표면고감도결함사및및정확한공정피드백을제공제공해당에피이퍼표면표면결함검출시스템시스템은내sic에피및실리콘상의상의공정대한에피택셜성장을화하고하고기판품질개선지원CS920은은표면아래의기초면전위및에피에피스태킹를포함한수율에중대한중대한영향주는결함을검출할할수있는단일검플랫폼내광발광및표면결함기술을통합하여원인원인파악파악을을하여하여원인원인줄기술을통합통합합니다。

애플리케이션.
공정공정,툴툴,입고품질관리,출고출고품질
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Candela.®71xx.

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Candela.®71xx.

하드디스크드라이브미디어미디어기판결함결함사및분류시스템

하드디스크드라이브제조제조를위한andla®71xx시리즈시리즈첨단미디어및기판결함검출및분류시스템은을극대화하고하고하드사비용을낮춥니다。듀얼광학경로구성은마이크로피트,범프,이물및및된결함등의중대한영향을미칠수미세결함에대한대한고유의시그니처를를대한능하게하게미세분류를능능하게Candela 7110구성구성은사를위한기판의수동로딩지원and and and and and and완전히완전히자동화카세트카세트 -

고민감(HS)옵션은유리원판및기판기판사에대한첨단민감도및검출율제공합니다검출율제공합니다。

애플리케이션.
하드디스크드라이브공정공정및툴
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Candela.®63xx.

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Candela.®63xx.

하드디스크드라이브미디어미디어및기판기판형상측정및결함사시스템

Candela.®63xx듀얼레이저기반기반사시스템은하드디스크기판및완성에표면표면사를를제공。고유고유의멀티채널광학설계를통해매끄러운금속과유리에대한조도(거칠기)및및계측측장이가능합니다。이물및및스크래치등의결함은동일한플랫폼사용하여하여자동검출및분류할수Candela 6310은실험실과소량생산적합한수동시스템이며坎德拉6340은생산환경위한자동 - 투 - 카세트시스템입니다。

애플리케이션.
하드디스크드라이브공정공정및툴
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Zetascan.

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Zetascan.

비정형비정형및대규모기판기판의고처리량결함사

zetascan시리즈고처리량결함결함사및분류분류은디스플레이및solar산업산업유리기판,평판패널및기타기판사용됩니다。소규모레이저스캐닝스팟및4개의동시검사채널을보유한ZetaScan시리즈는거친표면,연마,비연마,불투명및투명기판과박막유리또는접합웨이퍼를포함한다양한기판상에서중대한영향을미치는결함을검출하고분류합니다。멀티모드접근법을을사에활용하는zetascan시리즈결함결함사기는기는높은처리량처리량에서높은수준의결함민감도를제공제공수준의결함민감도를제공제공

애플리케이션.
유리유리이퍼결함결함사,웨이퍼,디스크디스크/미디어상의박막
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Sensarray.®Process Probe™2070

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Sensarray.®Process Probe™2070

原位평판평판패널온도모니터링모니터링

process probe™2070계측유리타일은다수평면패널공정애플리케이션을을유리유리온도프로파일신뢰도높은신뢰도높은신뢰도높은신뢰도높은신뢰도특성특성특성적이고적유연한을제공제공합니다제공제공제공제공제공제공제공단일대형유리패널대신다수의계측글래스타일을사용하는流探测器2070은은공정챔버내발열체상원하는위치에열전대센서위치수에있도록있도록수수있도록있도록이러한유연한제품설계液液晶및기타대형유리패널이션에에대한온도측정을하며고정밀공정인증및및최적를고정밀하게인증및화능하게하게

애플리케이션.
공정공정,공정공정,공정툴인증
평판패널유리가공|0-600°C.
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klarity.®

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klarity.®

자동화결함및수율데이터분석

klarity.®缺陷자동화자동화결함분석및및터관리시스템은시스템의을담당수율학습주기를가속화시킵니다。klarity缺陷을을klarity®SSA(공간시그니처분석)분석모듈은공정문제를나타결함시그니처자동자동으로검출분류분류분류분류분류분류분류klarity.®ACE XP첨단수율분석시스템은은그리고그리고에수율가속화속화속화수율을검출검출,검출검출,유지유지공유지원합니다。klarity시스템은직관적결정흐름흐름분석활용하여이很多엔지니어들분류,리뷰샘플링,결함결함분석,spc설정및관리와사고알림등의이션을지원하는맞춤형분석을을손쉽게수있도록합니다있도록있도록있도록있도록klarity sence,klarity ssa및klarity xpe xp는자동적으로결함사,분류분류리뷰데데데를관련근인수율분석정보전환寿命하는하는하는klarity데이터ic,패키징,컴파운드세미및hdd제조업체가신속하게시정조치취하여수율가속속화하고시장출시앞당길수있도록지원

애플리케이션.

결함결함이터분석,웨이퍼분류,공정및툴공정사고파악,공간시그니처분석,수율수율,수율수율

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Profiler포트폴리오

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Profiler포트폴리오

광학및스타일러스分析器

KLA는반도체IC,전력전력,LED,포토닉스,MEMS,CPV Solar,HDD및디스플레이제조제조를위한표면계측측정을지원다양한한스타일러스및광학광학광학다양스타일러스및및광학광학다양한제공제공Profiler사이트를방문하시면가정보를보실수있습니다。

애플리케이션.
스텝높이,조도(거칠기),평면도,곡률,응력,박막두,결함리뷰등
관련제품

P-17.

P-170.

HRP.®-260

Microxam-800.

Zeta-20.

Zeta-300

Zeta-388.

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나노역학테스터포트폴리오

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나노역학테스터포트폴리오

컴파운드컴파운드반도체제조를를위한나노역학

kla의나노역학테스터는및mems산업산업내에서미세단위나노단위역학테스트테스트를지원나노역학테스터사이트를방문하시면가정보정보보실수있습니다。

애플리케이션.

반도체,얇은얇은,mems구조의영률및측정측정

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