첨단패키징을위한웨이퍼검사와계측

첨단패키징을위한웨이퍼검사와계측

解放军의첨단웨이퍼레벨패키징을위한웨이퍼검사및계측시스템은복잡한제조공정전반에추적가능성을제공함으로써칩제조업체가수율개선에필요한데이터를제공합니다。더작은최소배선크기,새로운집적방식,단일패키지에대한여러부품의이종집적화는더욱엄격한공정제어를요구합니다。당사의시스템을사용하면엔지니어들은공정이상을빠르게감지하여해결,모니터링하며장치성능을향상시키기위해품질을보다효율적으로관리할수있습니다。

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전체표면웨이퍼결함검사,계측및리뷰클러스터시스템

circl.-ap효율적인첨단웨이퍼수준패키징(awlp)공정제어를위한높은처리량에서표면표면사,계측및리뷰를담당하는모듈을탑재탑재클러스터툴툴입니다。CIRCL-AP툴은2.5D / 3D통합,웨이퍼수준수준칩규모(WLCSP)및팬아웃웨이퍼수준(fowlp)를를한한를필요로의의의애플리케애플리케애플리케애플리케사용됩니다접합,박막박막및변형기판을지원하는하는하는는는필러,범프,실리콘관통전극(tsvs),재배선층(rdl)및기타패키징공정을위해생산입증된공정및모니터링생산에제공제공공정제어모니터링전략제공제공제공흐름모니터링전략을제공제공

애플리케이션

공정모니터,출고품질관리(OQC)툴모니터

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克诺斯1190

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웨이퍼수준패키징검사시스템

1190年科隆诺斯™패턴드웨이퍼검사시스템은고해상도광학장비를사용하여,3 d IC와HDFO(高密度扇出)를비롯한첨단웨이퍼수준패키징(AWLP)응용분야에서프로세스개발과생산모니터링을위한중대한결함검출의측면에서동급최고의감도를제공합니다。DefectWise™는시스템수준솔루션으로서인공지능(AI)을통합하였기때문에,오버킬(过度)과결함검출실패(缺陷逃逸)의문제를해결할수있도록감도,생산성,분류정확도를크게향상시켰습니다。DesignWise™는문제점을더욱감소시키기위한직접적인설계를통하여FlexPoint™정밀영역검사기술을더욱향상시켰습니다。접합되거나얇게만들거나래핑되거나절단된기판들을모두지원하는科隆诺斯1190年시스템은후절단,선접합,铜패드,铜필러,범프,실리콘관통전극,재배선층(RDL)과같은중요한공정단계에서150海里에달하는정밀도의비용효율적인결함검사를실현합니다。

애플리케이션

결함검출,공정디버그,공정모니터,툴모니터,출고품질관리(OQC)

관련제품

CIRCL-AP.:二氧化钛검사기술은CIRCL결함검사,계측및리뷰클러스터툴상의모듈로사용가능합니다。

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wi - 2280

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wi - 2280

다층기판결함검사및계측시스템

wi - 2280자동화광학검사및계측시스템은다양한웨이퍼기판에서마이크로전자소자를측정하고검사하며,VCSEL과기타집적회로애플리케이션을위한웨이퍼수준패키징및다이싱후품질관리를지원합니다。FFC또는후프링상의다이싱된웨이퍼와2에서인8치의전체웨이퍼처리가가능합니다。검사및2 d계측역량을갖춘wi - 2280시스템은웨이퍼표면품질,웨이퍼다이싱품질,임계치수및범프,패드및铜필러의오버레이품질에대한피드백을제공합니다。이시스템은신속한수율학습과개선된공정제어를위한결함리뷰및재분류를제공하는IRIS(国际安全和发展理事会리뷰및분류소프트웨어)를탑재하도록설계되었습니다。

애플리케이션

공정모니터,출고품질관리(OQC)툴모니터

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ζ5 xx / 6 xx

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ζ5 xx / 6 xx

첨단패키징계측시스템

ζ-5xx시리즈광학探究栏는첨단이퍼수준웨웨공정제어에서영향미치는범프높높영향영향미치는범프이,rdl(재배선층)cd,ubm(언더언더금속화)스텝스텝이,박막두께와웨이퍼보우의다양한애플리케이션을을측정완전히자동화된300mm웨이퍼계측계측시스템。멀티모드광학을통해단일시스템에서다양한유형의측정을진행하여시간과비용을절감할수있으며그결과로확보한고해상도3D이미지및분석은수율개선으로이어지는공정피드백사이클을위해필요한데이터를제공합니다。패널기반웨이퍼수준수준패키징패키징이션애플리케과자동화된패널처리역량을보유한한한한한6 xx시리즈分析器5 xx시는리즈와동일한계측측정역량을제공합니다。

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공정모니터,출고품질관리(OQC)툴모니터

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Klarity®

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자동화결함및수율데이터분석

Klarity®缺陷자동화자동화결함분석및및터관리시스템은시스템의을담당수율학습주기를가속화시킵니다。klarity缺陷을을klarity®SSA(공간시그니처분석)분석모듈은공정문제를나타결함시그니처자동자동으로검출분류분류분류분류분류분류분류Klarity®ACE XP첨단수율분석시스템은은그리고그리고에수율가속화속화속화수율을검출검출,검출검출,유지유지공유지원합니다。klarity시스템은직관적결정흐름흐름분석활용하여이很多엔지니어들분류,리뷰샘플링,결함결함분석,spc설정및관리와사고알림등의이션을지원하는맞춤형분석을을손쉽게수있도록합니다있도록있도록있도록있도록klarity sence,klarity ssa및klarity xpe xp는자동적으로결함사,분류분류리뷰데데데를관련근인수율분석정보전환寿命하는하는하는klarity데이터ic,패키징,컴파운드세미및hdd제조업체가신속하게시정조치취하여수율가속속화하고시장출시앞당길수있도록지원

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결함결함이터분석,웨이퍼분류,공정및툴공정사고파악,공간시그니처분석,수율수율,수율수율

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