缺陷检查系统

缺陷检查系统

坎德拉®缺陷检测系统检测并分类化合物半导体衬底(GaN、GaAs、InP、蓝宝石、SiC等)和硬盘驱动器上的各种关键缺陷,在生产能力方面具有很高的灵敏度。

创新时间表

自1997年推出坎德拉光学表面分析仪(OSA)以来,我们的技术专家一直在为化合物半导体和数据存储市场引入缺陷灵敏度和分类方面的关键创新。我们的检测技术为每个新产品的发布提供了性能改进,包括我们业界首创的在单个平台上结合高速表面缺陷检测和光致发光计量的获奖能力。了解更多关于坎德拉缺陷检查员丰富的创新历史。

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坎德拉8420

光学表面分析仪(OSA)用于工具和过程监控,通过表面缺陷检测和表面缺陷分类,包括用于光子学、LED、通信和其他化合物半导体应用的粒子、污渍、划痕和宏外延缺陷。

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坎德拉8720

高灵敏度晶圆检测工具,集成表面缺陷检测和光致发光计量,用于GaN在HBLED、MicroLED、vcsel、LiDAR、IoT、5G和其他高端化合物半导体应用中的应用。

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坎德拉8520

高灵敏度、高通量晶圆检查工具,集成表面散射和光致发光技术,用于缺陷检测和分类SiC和GaN基功率器件上的地形和晶体缺陷。

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泽塔斯坎

低成本、高通量的检测工具,用于太阳能、光伏和显示器用方形或圆形砷化镓、玻璃和蓝宝石晶片的缺陷检测和分类。

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坎德拉6320和6340

基于激光的硬盘驱动器(HDD)基板检查系统,用于测量整个磁盘表面形貌、微粗糙度和波纹度,并检查晶圆表面是否存在缺陷。自动模式,坎德拉6340,包括磁盘磁带到磁带处理。

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坎德拉7110和7140

基于激光的检测系统,用于硬盘驱动器(HDD)基板和介质的高灵敏度表面缺陷检测,具有用于亚微米凹坑和颗粒分类的多条光路。自动模式,坎德拉7140,包括磁盘磁带到磁带处理。

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光学轮廓仪

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薄板电阻映射器

电影计量学®基于45年来电阻测量技术的创新和专业技术,已经开发出片式电阻测量仪。

触针轮廓仪

阿尔法台阶®,天科P系列与HRP®触针轮廓仪可实现高精度、二维和三维表面计量。触针轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力,具有业界领先的稳定性和可靠性,可满足您的研发和生产计量要求。

薄膜反射计

Filmetrics薄膜反射计以秒为单位提供透明薄膜的厚度和折射率测量,具有业界领先的精度。

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