薄层电阻映射器

薄层电阻映射器

的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新,已开发出薄板电阻测量仪器。从1975年ADE 6035电阻率测量仪的推出到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics开发的技术,R50是结合了专业技术的顶点,提供了r系列片电阻测量工具。

即将来临的事件

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太平洋时间2021年8月10日上午10:00(美国和加拿大)

选择哪种光学计量技术?

9月8日,2021年09:00 AM Pacific Time(美国和加拿大)

纳米划痕测试和3D轮廓测定的理论介绍

9月14日,2021年上午10:00(美国和加拿大)

用Tencor Stylus profiler测量软材料

10月19日,2021年上午10:00(美国和加拿大)

通过玻璃测量表面形貌

太平洋时间2021年10月20日上午09:00(美国和加拿大)

薄层电阻测量的点尺寸和横向分辨率

11月9日,2021年10:00太平洋时间(美国和加拿大)

多接口的Profilm3D

太平洋时间2021年11月18日08:00(美国和加拿大)

用坎德拉降低通信和传感应用的GaAs, InP和其他复合半晶圆的缺陷®

太平洋时间2021年12月8日上午09:00(美国和加拿大)

具有测试后3D轮廓测定的微电子显示器涂层纳米划痕

Fimpetrics R50-4PP.

Fimpetrics R50-4PP触点四点探针系统映射金属层厚度,薄层电阻,薄层电阻率,薄片电导和片状电导率。10数十年的测量功能和大Z范围使R50-4PP成为各种应用的理想选择。

Filmetrics R50-200-4PP也可用于容纳更大的样品尺寸。

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Fimpetrics R50-EC

FimenTrice R50-EC非接触式涡流系统映射金属层厚度,薄层电阻,薄层电阻率,薄片电导和薄片电导率。非接触式涡流薄层电阻测量非常适用于测量敏感和/或柔性导电表面上的电阻和膜厚度。

Filmetrics R50-200-EC也可用于更大的样品尺寸。

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仪器

对于行业专家,学者和其他创新者,KLA仪器提供可信赖的测量,实现了世界的突破性技术。

缺陷检查

的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、led、电源设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。

纳宁德斯

KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试,以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。

光学分析器

profilm3d.®和Zeta.™️️光学轮廓计提供3D步高度,粗糙度和其他表面形貌测量的快速,非接触式解决方案,利用干涉仪和ZDOT测量技术。

手写笔分析器

的Alpha-Step®, Tencorp系列,合®手写轮廓仪可以实现高精度,2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度,粗糙度,弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性,为您的研发和生产计量要求。

薄膜反射计

电影化学薄膜反射仪在几秒钟内提供透明薄膜的厚度和折射率测量,具有行业领先的精度。

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