RDC.

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光纤数码分类与原理

RDC(光罩决策中心)综合数据分析和管理系统支持多种解放军用于光罩认证的光罩检测和量测平台。RDC能够支持很多应用,从而协助自动化缺陷处置决策,缩短周期时间,并减少可能影响良率的光罩相关的图案化错误。除了可以提供关键应用以外,因为RDC采用了高度可靠灵活的服务器配置,所以也可以作为中央数据管理系统。

klarity.^®

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自动化缺陷和数码分享

klarity.^®缺陷自动化缺陷分类和数码管理系统通过当时klarity ace xp的高级良率良率系统系统系统晶获取，保留并且共享良率经验，k k系统内协同良率，klarity系统内内提升。创建定制分类，支持批次处置，抽样检查，缺陷源检查，spc设置和谐以及偏移通讯k def知应用。klarity stect，klarity ssa和klarity ace xp在全全厂范围内构建良率解决方面，自动精简检测，分享和检查的数码，重点显示与问题根源和数码分享相关的信息。klarity数码让IC，包装，结合繁体和HDD制造商可口采取正措施，从而加入良率提升和产品上市。

5D分析仪^®

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先进数据分类和图形化控制

5D分析仪^®的是一击行进时工厂控制控制方向，针对先进节点的工艺锰化，工艺监控和图表化控制分享和可致功能。它接受晶圆厂内叠对，光芒定位，晶圆，反应室温度，薄膜，cd和轮廓等测，工艺设备以及扫描仪各各种种种的数据。通讯和数码与对光罩和数码表分类化学的关键词，5d分享到可实现各种离离离，实现先进图库控制。

Prodata.^™

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工艺窗口分享

PRODATA™V2.1工艺窗口分类软件提供了了系统系统的和稳定的的光潮气工厂。这款功能大大的软件刻快速便功能准确地分别实验资产，包括临界尺寸（CD）分享，粗糙度，侧壁侧壁，顶层顶层和图表坍塌，从而加入关键词的制定。